半導体計測システム及び半導体計測方法
- 発明者
- 先端科学技術研究センター 小関 泰之先生 他
- 特許情報
- 出願済：特願2024-120299
- 発明紹介
- 「誘導ラマン散乱を用いた計測技術」
誘導ラマン散乱を用いたことで、波長の長い光でSRSを検出することができる技術。
分子周波数が低く、1.5 µmおよび1.7 µmで透明になる物質の内部測定が可能。（例：シリコン）
- 担当者からのコメント
- 現在、シリコンの内部計測技術の開発パートナーになっていただける企業様を探索しております。
- 資料
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記載の情報は2025年7月30日時点のものです。
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